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2021-01-15

航天智造——單晶硅加工線柔性輸送系統(tǒng)

導(dǎo)讀


近年來(lái)，我國(guó)單晶硅材料的制造和加工的規(guī)模與質(zhì)量突飛猛進(jìn)，很大程度上得益于智能制造技術(shù)的投入和發(fā)展。航天智造較早布局半導(dǎo)體材料的制造、加工和檢測(cè)等環(huán)節(jié)的智能裝備整體解決方案，并成功樹(shù)立了某半導(dǎo)體企業(yè)較為完整的自動(dòng)化線標(biāo)桿案例。

航天智造（上海）科技有限責(zé)任公司研究開(kāi)發(fā)了AGV機(jī)器人、桁架機(jī)械手系統(tǒng)、積放式檢測(cè)線、激光打碼和CCD讀數(shù)的質(zhì)量追溯系統(tǒng)，用于單晶硅生產(chǎn)流程中的單晶爐上下料、硅棒的截?cái)嗌舷铝?、開(kāi)方和磨倒等機(jī)加工上下料到電性能檢測(cè)和外形尺寸檢測(cè)，具備協(xié)同作業(yè)功能全、定位精度高、適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)工件的柔性好、積水地面和多塵及腐蝕性環(huán)境下的魯棒性強(qiáng)、數(shù)字化程度高等優(yōu)勢(shì)，為降低該產(chǎn)業(yè)的人工依賴度、降低人力和管理成本，提高生產(chǎn)節(jié)拍和質(zhì)量水平提供了卓越的生產(chǎn)力支撐。


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